1-3 軸機械手
根據客戶的確切個性化需求，我們可以設計和提供各種定制的 UHV 機械手。縱器可以在三個正交軸 XYZ 中的任何一個上移動樣品。使用附加的旋轉裝置，可以實現圍繞 R1、R2 或 R3 軸的額外旋轉運動。為了實現最高的定位精度、分辨率和可重復性，XYZ 機械手和旋轉驅動運動可以電動化。縱器可以在任何方向上工作。
加熱/冷卻
每個機械手都有一個用于 PTS 或 Flag 型樣品架的樣品接收臺。根據要求，可以使用直流電或 EB 方法對樣品進行電阻加熱。可以通過低溫恒溫器進行冷卻，液氮 LN 流經低溫恒溫器2或液氦 LHe。
