鈦升華泵 （TSP） 是真正的 UHV 泵。該泵的主要優點是簡單、便宜，并且可以產生高抽速。TSP 由 3 根可拆卸的發夾形細絲組成。它們由鈦和鉬合金制成，安裝在一個簡單的載體中，旨在具有低電阻。

描述

來自外部電源的大電流通過燈絲，使其發出熾熱的光。在此溫度下，鈦直接從細絲中升華，然后蒸發劑覆蓋在腔室的附近壁上。

▪ 為了提高抽速，TSP 可以配備液氮護罩
▪提供在不同方向工作的不同版本