M1600-PDC 磁控管電源

M1600-PDC 是緊湊型開關模式直流脈沖電源，設計用于驅動多達 3 個磁控管源。

所有可調參數都顯示在帶觸摸屏的大型 TFT 顯示屏上。所有設置均可手動調整，也可在設備開啟后自動存儲和調用。該裝置還具有內置計時器和自動待機模式。它完全互鎖，以確保用戶和設備的安全。設備可以通過可用的模擬或數字接口之一進行遠程控制。

特征

• Pule DC 或標準 DC?模式
• 用于 3 個帶快門控制的磁控管源的開關
• 每個輸出的電壓、電流和功率分別可調
• 多個 I/O?– 單獨可編程
• 厚度和蒸發速率測量（支持厚度監測儀 TM13 /14）
• 真空測量（支持主動真空計）
• 質量流量控制器支持

技術數據

• 電源電壓 100 – 240 V，50-60 Hz
• 輸出電壓高達 1200 V（最低 250 V）
• 輸出電流高達 3000 mA（從 1 mA）
• 輸出功率高達 1600 W*（從 1 W 起）
• 磁控管的開關模式 3 輸出
• 模擬輸入/輸出 5 （0 – 10V）/ 5 （0 – 10V）
• 數字輸入和輸出單獨可編程
• 定時器 雙模式定時器 0 s – 99 h 59 min.
• 真空測量 1 通道，用于主動式真空計：CTR90、TTR90、TTR91、TTR211、PTR225、PTR90、ITR90、ITR100、Baratron、ANALOG IN、MKS937A、PG105、MG13/14、PKR251/360/361、PCR280、ATMION
• 厚度和蒸發速率測量 1 通道，用于厚度監測儀 TM13 /14
• 質量流量控制器 1 通道
• 通信接口 RS232/485、以太網
• 通信協議 MODBUS-TCP/RTU
• 用戶界面 5 英寸 TFT 顯示屏，帶觸摸屏、數字編碼器
• 界面語言 簡體中文
• 尺寸 485,6 x 87 x 450（寬×高×深），
• 重量（約）11 kg
• 脈沖頻率：10-350 kHz
• 脈沖關閉時間：0.4μs-10μs

*當市電電壓低于 150V 時，功率限制為 1000W