石英天平 QO 40A1
可以監測蒸發和濺射鍍膜的厚度。傳感器頭是一個水冷式非磁性外殼，永久位于真空系統中。晶面與水冷饋通管平行。石英天平 QO 40A1 安裝在 DN 40CF 法蘭上，帶有兩根 ?6 管和 Microdot S-50 同軸連接器。定制插入長度 130 – 500 mm（可根據要求提供其他插入長度）。
技術數據
| 安裝法蘭 | DN 40CF （可旋轉） |
| 最高工作溫度 | 最高 300°C（水冷） |
| 水冷 （必需） | 水流量 > 0.5 升/分鐘 溫度：20 – 30 °C 最大壓力：6 巴 |
| 晶體頻率 | 4.8 – 6 MHz，直徑 14 mm（行業標準） |
| 插入長度 | 取決于腔室的規格和幾何形狀 |
| 烘烤溫度 | 最高 150 °C |
特征
- 水碰撞傳感器頭
- 易于更換的石英
選項
- 定制插入長度
- 帶或不帶內置手動/電動氣動快門不同的安裝法蘭（例如 DN 40 KF）
- 可根據要求提供其他石英天平幾何形狀（例如垂直頭部幾何形狀）
- 線性偏移
