熱脫附光譜儀 TDS 40A1
TDS 40A1 專為程序升溫脫附 (TPD) 應用而設計。
TPD 包括在 UHV 條件下加熱樣品,并同時測量作為樣品溫度函數的解吸氣體種類的數量。定制設計的錐形采樣端件可確保對解吸物質的最佳響應。
技術
安裝法蘭 | DN 40 CF (不可旋轉) |
烘烤溫度 | 最高 150 °C |
插入長度 | 190 mm (可根據要求提供),外徑: 36.8 mm |
質量范圍 | 1 至 300 AMU |
質量過濾器 | 四極桿 |
檢測器類型 | 電子倍增器 (EM) |
分辨率 | 優于 0.5 AMU |
敏感性 | 2×10-4A/Torr (FC)、 |
最小可檢測分壓 | 5×10-11托爾 (FC), 5×10-14托爾 (EM) |
工作壓力 | < 10-4Torr 至 UHV (FC) < 10-6Torr 至 UHV (EM) |
特征
- 完全可編程
- 獨特的耗材設計
- 寬工作溫度范圍
選項
- 四極桿 MS:100、200 或 300 amu
- 高穩定性線性移位
- 差動泵送(1 級)