半球形能量分析儀 EA15-HP5
EA15-HP5 可在高達(dá) 5 mbar 的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)環(huán)境中進(jìn)行高分辨率 PES 測(cè)量。
描述
該分析儀總共配備了 11 個(gè)狹縫，并提供了在最佳能量分辨率和最佳強(qiáng)度之間進(jìn)行選擇的可能性。根據(jù)給定的光電子能量，分析儀最多可設(shè)置 8 個(gè)預(yù)定義的 PE，以滿足客戶的要求。
EA15 半球形能量分析儀可以直接由?LabVIEW?編程環(huán)境控制。
注意：
建議將 mu-metal 分析真空室或內(nèi)部 mu-metal 屏蔽室與 PREVAC EA15-HP1 半球形能量分析儀結(jié)合使用，以最大限度地減少外部磁場(chǎng)的影響并最大限度地提高分析儀的性能。
套餐包括：
▪ EA15-HP5 150 mm 半球形能量分析儀，
▪?RUDI-EA2?高穩(wěn)定和低噪聲電子設(shè)備，
▪用于 Windows作系統(tǒng)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的?SPECTRIUM?采集和分析儀控制軟件，
▪計(jì)算機(jī)套裝。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 安裝法蘭 | 公稱直徑 100 CF |
| 烘烤溫度 | 最高 120 °C |
| 工作距離 | 1-2 mm （取決于錐體開(kāi)口） |
| 分析器平均半徑 | 150 毫米 |
| 傳遞能源 XPS XPS/UPS?&?XPS/UPS/ARPES* | 20、50、100、200 eV |
| 能量分辨率 XPS XPS/UPS?&?XPS/UPS/ARPES* | < 20 meV FWHM |
| 動(dòng)能范圍 | 0.5 – 3000 伏 |
| 采集模式 | 固定， 掃描 |
| 透射和角度鏡頭模式： ▫鏡頭接受角（透射模式） | +/- 15° |
| IRIS 光圈 | 從 1 mm 到 32 mm |
| 完全由非磁性材料設(shè)計(jì) | |
探測(cè)器
? MCP-CCD 探測(cè)器
– 直徑 40 mm 的雙 MCP 探測(cè)器
– 656 個(gè)能量通道同時(shí)可用
– 494 個(gè)角度通道同時(shí)可用
– 90 fps
? 7-MCD 探測(cè)器（用于 UHV）
? Detektor DLD（用于 UHV）
– 固定模式下的最大能量窗口：~17% 的通過(guò)能量
– 直徑為 56 mm 的探測(cè)器，帶 7 個(gè)通道加速器
– 施加電壓：2.5-3.5 kV
選項(xiàng)
用于 EA15-HP5 的泵送系統(tǒng)?3 級(jí)泵送系統(tǒng)，配有所有必要的泵、壓力測(cè)量系統(tǒng)和附件，使分析儀能夠在要求的壓力范圍內(nèi)工作（從 UHV 到 5 mbar）。
系統(tǒng)包括：
- 分析儀泵送系統(tǒng)第 1 級(jí)（鏡頭）
- HiPace 300 渦輪分子泵（N 型泵的抽速為 260 l/s）2)
- VAT 閘閥 DN 100CF – 用于 TMP 泵的 el-pneumatic
- nXDS6i Edwards 前級(jí)真空干泵（標(biāo)稱抽速 6 m3/h）
- 管材和布線，
- 自動(dòng)安全閥和排氣閥，
- 分析儀泵送系統(tǒng)的第二級(jí)（透鏡）
- HiPace 300 渦輪分子泵（N 型泵的抽速為 260 l/s）2)
- VAT 閘閥 DN 100CF – 用于 TMP 泵的 el-pneumatic
- 自動(dòng)安全閥和排氣閥，
- 分析儀泵送系統(tǒng)的第 3 級(jí)（半球）
- HiPace 300 渦輪分子泵（N 型泵的抽速為 260 l/s）2） 帶 reducer
- VAT 閘閥 DN 63CF – 用于 TMP 泵的 el-pneumatic
- nXDS6i Edwards 前級(jí)真空干泵（標(biāo)稱抽速 6 m3/h）
- 管材和布線，
- 自動(dòng)安全閥和排氣閥，
- 真空計(jì)
- 3 個(gè)皮拉尼真空計(jì) TTR91N，用于前級(jí)真空，
- 3x PTR90N – 寬量程表
- 用于控制泵送系統(tǒng)（前級(jí)真空泵、UHV 泵、閥門(mén)和真空計(jì)）的電子微處理器裝置。該裝置包括多個(gè)聯(lián)鎖裝置，用于在停電或組件發(fā)生故障時(shí)保護(hù)真空系統(tǒng)。
- 分析室和分析儀之間的旁路：管道和安全閥
