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XYZ 迷你載物臺

具有 X、Y 和 Z 運動的高精度 UHV 試樣平移器。

標準安裝法蘭為 DN 63CF，標準移動法蘭為 DN 40CF。所有三個軸都合并在一個微型平臺中，以極低的價格提供出色的性能。移動物可以在任何方向工作。

其他信息：

只有 Z 機芯可以電動。

技術數據

基座法蘭DN 63CF 或 DN 100CF
移動法蘭公稱通徑 40CF
XY 范圍± 12.5 毫米
分辨率5 微米
Z 范圍75 – 100 毫米
分辨率（手動）0.5 毫米
烘烤溫度最高 150 °C

 

 

壓縮/延長長度壓縮長度 [mm]
延伸長度 [mm]
Z 范圍 [mm]DN 40/40CF
波紋管 ID39		DN63/40CF
波紋管 ID39		DN100/40CF
波紋管 ID39
75179
254		179
254		179
254
100–179.5
279.5		79.5
279.5

應用

XYZ 迷你機械手的設計易于使用和方便。X 和 Y 機芯的厚度± 12.5 毫米，具體取決于安裝的配件。Z 軸移動為 75-250 毫米，具體取決于應用。


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