沉積處理室設計用于各種應用，以涂覆薄膜、開發新材料或創造技術。
它們通常具有許多UHV端口(各種標準尺寸),用于連接各種類型的沉積和測量儀器。它們通常設計用于1×10之間的基礎壓力-6毫巴和1×10-11毫巴。根據需要，由高導磁合金(內部硼< 0.5μT)或不銹鋼制成。我們的標準多功能分析室提供了足夠的端口和設施來滿足大多數當前和未來的要求，但我們也很樂意根據您的個人規格進行制造。
沉積室通常配備有:
不同類型的沉積源和儀器，包括電子束蒸發器、瀉流池、磁控管源、熱蒸發源、石英振蕩器等；
精密機械手，
泵系統(TMP、帶低溫冷卻的TSP、離子)，
視窗，
壓力計。
處理室可以配備半/全LN2
冷卻護罩(低溫護罩)、防止污染的附加護罩(可更換襯管)和防止交叉污染的源隔離(低溫面板)。
使用專門設計的起重小車，可以更換處理室的底部集群法蘭。
一個多功能推車可用于更換底部法蘭、低溫板和襯墊(便于清潔)。由于可以用源代替底部法蘭，一個沉積室可以適用于不同的應用。
任何真空室的材料選擇和基本設計都因其所需的具體應用而異。例如，對極限室底壓力的要求可以在甚至優于10的范圍內變化-10?毫巴。
物理尺寸可以是直徑從幾毫米到幾米的任何東西。一個簡單的實驗可以規定一個簡單的配置，如四路交叉。另一方面，復雜、通用的分析室可能需要50個或更多的端口，這些端口朝向許多不同的內部焦點并處于許多不同的高度。
我們根據您的具體要求制造定制的真空室。我們可以處理您的圖紙，或者根據您的指示創建完整的3D設計圖。我們的團隊訓練有素的工程人員使用最新的CAD技術室和系統設計。
我們在最新的機械加工和精加工技術上投入了大量資金，可以建造大型或小型腔室，這些腔室具有任意數量的位于不同角度的端口，并且適合任何操作基礎壓力要求。
我們的機械車間員工在加工、焊接和連接所有類型的高壓和UHV兼容材料方面技術高超，這些材料包括:不銹鋼、OFHC銅、青銅、macor、陶瓷、特氟隆、鈦、鋁、鉬、鉭、mu-metal、vespel和inconel。我們還用鉭、鉬和不銹鋼制造隔熱罩和反射器。
用于標準樣品制備技術、薄膜生長、濺射、退火和原位表征的高級制備技術。
它們通常具有許多UHV端口(各種標準尺寸),用于連接各種類型的表面處理技術。它們通常設計用于1×10之間的基礎壓力-10毫巴和1×10-11毫巴。我們的標準多功能制備室提供了足夠的端口和設施，可滿足大多數當前和未來的要求，但我們也很樂意根據您的個人規格進行制造。
準備室通常配備有:
精密機械手，
泵系統和壓力計，
電子束蒸發器和噴射室，
石英振蕩器，
不同類型的分析儀，
用于表面清潔的離子源，
視窗。
