美國Nonsequitur Technologies Model 1420 20kV離子槍

美國Nonsequitur Technologies Model 1420 20kV離子槍特點：

• 光斑尺寸可調 ≥ 5um，用于空間定義的濺射或注入

• 發射調節轟擊提供穩定的離子電流

• 連續可變光束能量 5kV 至 20kV

• 用于光束掃描和像散校正的雙八極桿

• 用于減小光斑尺寸的物鏡前掃描

• 無需將細絲直接連接到樣品視線，以避免樣品污染

• 客戶可更換的細絲和光束修整孔徑

• 雙線材可在線材使用壽命結束時提供運行備份

• 制造中使用的所有 UHV 兼容和抗蝕刻材料

• 差速泵送，以最大限度地減少主室氣體負荷

• 在惰性氣體和氮氣范圍內運行

美國Nonsequitur Technologies Model 1420 20kV離子槍可選規格：

• 釷涂層銥絲，用于氧氣操作

• 可變孔徑，光斑尺寸低至 1 微米

• 用于快速光束脈沖的盲板

• 堿金屬源，用于處理 Cs、Li、Na、K 等

• 源烘箱，允許產生可蒸發材料的離子

• 帶集成 Wien 濾波器的源

美國Nonsequitur Technologies Model 1420 20kV離子槍性能：