Newmark重型精密線性滑臺(tái)NLS8系列

重型精密線性滑臺(tái)NLS8系列專為半導(dǎo)體加工、光纖制造及生物技術(shù)自動(dòng)化等需要高精度定位的科研與工業(yè)領(lǐng)域設(shè)計(jì)。

本系列產(chǎn)品通過有限元分析(FEA)優(yōu)化設(shè)計(jì),精選優(yōu)質(zhì)材料與組件,確保卓越的穩(wěn)定性和性能表現(xiàn)。為提升可靠性與耐用性,NLS8采用以下創(chuàng)新設(shè)計(jì):

  • 導(dǎo)軌和絲杠配備高強(qiáng)度機(jī)械防護(hù)罩
  • 編碼器直接內(nèi)置于絲杠,避免傳統(tǒng)電機(jī)后置安裝方式易受沖擊和污染的影響

主要技術(shù)特征:

  1. 結(jié)構(gòu)材質(zhì):全系列采用6061鋁合金精密加工,實(shí)現(xiàn)輕量化與高剛性的完美平衡
  2. 傳動(dòng)系統(tǒng):
    • 不銹鋼ACME精密絲杠配合自潤滑塑料驅(qū)動(dòng)螺母
    • 自動(dòng)磨損補(bǔ)償機(jī)構(gòu)確保全生命周期零背隙運(yùn)行
  3. 導(dǎo)向系統(tǒng):高負(fù)載線性導(dǎo)軌軸承提供平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)特性,兼具高剛性和大負(fù)載能力
  4. 負(fù)載特性:工作臺(tái)全行程支撐設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的懸臂負(fù)載性能
  5. 電氣配置:
    • 電機(jī)電源與限位/編碼器信號(hào)采用獨(dú)立接口,便于系統(tǒng)集成
    • 標(biāo)配高扭矩23步進(jìn)電機(jī)及集成式限位開關(guān)
Travel Range
200 mm, 300?mm, 400?mm, 500 mm
Resolution
0.08 μm (Stepper Motor)?1 μm (Servo Motor)
Accuracy
Leadscrew: 0.0006 mm/mm of travel)
Linear Encoder: ±3 μm / 100 mm of travel
Uni-directional Repeatability
1 μm
Bi-directional Repeatability
15 μm
Encoder
Option 1: Optical rotary encoder mounted to rear of motor, 4000 CPR with Index
Option 1: Optical linear encoder with Index, 0.1 μm resolution
Max. Speed
25 mm/sec (Stepper Motor)?50 mm/sec (Servo Motor)
Maximum Load
113 kg (250 lb.)
Limit Switch Type
Optical switch, normally closed
Stage Weight
NLS8-200: 10 kg (22 lb.)
NLS8-300: 10.9 kg (24 lb.)
NLS8-400: 12.2 kg (27 lb.)
NLS8-500: 15 kg (33 lb.)
Material
Aluminum Alloy Construction
Finish
Black Anodize
Operating Temperature
0°C to 50°C