? 創(chuàng)新一體化設(shè)計(jì)，高性能集成
? 去外部控制器與線纜，即裝即用
? 超低慣量無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，響應(yīng)迅捷平順
? 先進(jìn)掃描技術(shù)，透明/半透明/不透明晶圓皆可檢測(cè)
? 自適應(yīng)不同尺寸晶圓，無(wú)需機(jī)械調(diào)整
? 運(yùn)動(dòng)控制軟件內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)化指令集
? 兼容主流半導(dǎo)體設(shè)備平臺(tái)
? 典型對(duì)準(zhǔn)周期＜4秒，吞吐量最大化
晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)儀技術(shù)參數(shù)表
| 晶圓直徑 | 3英寸、100毫米、125毫米、150毫米、200毫米、300毫米 |
|---|---|
| 晶圓類(lèi)型 | 透明、半透明、不透明 |
| 方形基板 | 支持 |
| 晶圓處理方式 | 真空吸盤(pán)與頂針系統(tǒng) |
| 對(duì)中精度 | 預(yù)對(duì)準(zhǔn)盤(pán)上±25微米 |
| 角度精度(3σ) | 預(yù)對(duì)準(zhǔn)盤(pán)上±0.04°（標(biāo)準(zhǔn)） |
| 預(yù)對(duì)準(zhǔn)盤(pán)上±0.02°（高精度） | |
| 伺服軸數(shù) | 3軸 |
| 主機(jī)通信接口 | RS232、以太網(wǎng) |
| 最大初始偏移量 | 12毫米 |
| 機(jī)體尺寸(寬×長(zhǎng)×高) | 173毫米×317毫米×190毫米 |
| 設(shè)備兼容性 | LPAB12-3、LPA1218-3、LPABET-3、LPA12ET-3 |
| 整機(jī)重量 | 5.50千克 |
| 電源要求 | 100-240伏交流電，50/60赫茲，48伏安 或 24伏直流電/2安培 |
| 真空要求 | 12英寸汞柱 |
| 平邊/缺口標(biāo)準(zhǔn) | 符合SEMI標(biāo)準(zhǔn) |
| 潔凈等級(jí) | 1級(jí) |
| 平均無(wú)故障時(shí)間 | 超過(guò)70,000小時(shí) |
