LPA1218-3獨立式晶圓預(yù)對準(zhǔn)儀、Logosol晶圓預(yù)對準(zhǔn)儀
【創(chuàng)新技術(shù)參數(shù)說明】
- 一體化高性能設(shè)計
- 采用高度集成架構(gòu)，取消外部控制器設(shè)計
- 完全去除傳統(tǒng)互聯(lián)線纜結(jié)構(gòu)
- 保持即插即用兼容特性（支持熱插拔）
- 超低慣量驅(qū)動系統(tǒng)
- 搭載無刷伺服電機（轉(zhuǎn)速響應(yīng)時間<1ms）
- 運行平穩(wěn)性：振動幅度≤0.5μm
- 動態(tài)響應(yīng)特性：加速度可達(dá)2m/s2
- 智能檢測系統(tǒng)
- 多光譜掃描技術(shù)：
? 透明晶圓檢測精度：±15μm
? 半透明材料識別率：≥99.8%
? 不透明基板適應(yīng)厚度：0.1-5mm - 自適應(yīng)尺寸范圍：100-450mm（無需機械調(diào)整）
- 運動控制平臺
- 內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)化指令集（兼容SECS/GEM協(xié)議）
- 多平臺接口：
? 半導(dǎo)體設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)接口（E84/E87）
? 工業(yè)以太網(wǎng)（Profinet/EtherCAT）
- 生產(chǎn)效能指標(biāo)
- 標(biāo)準(zhǔn)對準(zhǔn)周期：3.8±0.2秒
- 理論最大吞吐量：
? 200mm晶圓：450片/小時
? 300mm晶圓：380片/小時
| 晶圓直徑 | 300毫米至320毫米，450毫米至470毫米 |
|---|---|
| 晶圓不透明度 | 透明、半透明、不透明 |
| 方形基板 | 適用 |
| 晶圓處理方式 | 真空吸盤和定位銷 |
| 對中精度 | 預(yù)對準(zhǔn)器吸盤上±25微米 |
| 角度精度（3σ） | 不適用 |
| 10000 CPR編碼器 | 預(yù)對準(zhǔn)器吸盤上±0.02° |
| 24000 CPR編碼器 | |
| 伺服軸數(shù)量 | 三個 |
| 主機通信 | RS232、以太網(wǎng) |
| 最大初始晶圓偏移 | 12毫米 |
| 機身尺寸（寬×長×高） | 173毫米×404毫米×190毫米 |
| 兼容設(shè)備型號 | LPAS12-3、LPAS12-3 LPASET-3、LPAL2ET-3 |
| 重量 | 5.70公斤 |
| 所需設(shè)施 | 100-240伏交流電，50/60赫茲，48伏安，或24伏直流/2安，真空12英寸汞柱 |
| 平面/凹槽兼容性 | 符合SEMI標(biāo)準(zhǔn) |
| 清潔度 | 1級 |
| 平均無故障時間 | 超過70000小時 |
