LPA812-1E嵌入式晶圓預對準器、Logosol晶圓預對準儀
晶圓預對準器技術規格表
核心參數
| 參數名稱 | 技術規格 |
|---|---|
| 晶圓直徑 | 200mm、300mm |
| 晶圓透明度 | 透明、半透明、不透明 |
| 方形基板支持 | 支持 |
| 晶圓處理方式 | 真空吸盤 |
精度指標
| 參數名稱 | 技術規格 |
|---|---|
| 對中精度 | 預對準吸盤上±50μm |
| 角度精度(3σ) | 預對準吸盤上±0.06° |
| 10000 CPR編碼器精度 | 預對準吸盤上±0.04° |
| 24000 CPR編碼器精度 | – |
系統配置
| 參數名稱 | 技術規格 |
|---|---|
| 伺服軸數量 | 單軸 |
| 通信接口 | RS232、以太網 |
| 最大初始偏移 | 10mm |
| 機身尺寸(W×L×H) | 95mm×266mm×191mm |
兼容性與認證
| 參數名稱 | 技術規格 |
|---|---|
| 兼容設備型號 | LPA25-1E、LPA38-1E、LPA58-1E、LPA312-1E、LPA1218-1E |
| 重量 | 3.50kg |
| 電源要求 | 100-240VAC(50/60Hz,48VA)或24VDC/2A，真空12英寸汞柱 |
| 平面/凹槽標準 | 符合SEMI標準 |
| 潔凈度等級 | Class 1 |
| 平均無故障時間 | >70,000小時 |
