Logosol LPA38-1E嵌入式晶圓預(yù)對準(zhǔn)器

創(chuàng)新的高性能一體式設(shè)計(jì)消除了外部控制器和互連電纜，同時(shí)保持了插入式兼容性
由超低慣性無刷電機(jī)驅(qū)動，實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)、即時(shí)的響應(yīng)
先進(jìn)的掃描電子設(shè)備能夠檢測透明，半透明和不透明物體，無機(jī)械
在不同晶圓尺寸之間重新定位
運(yùn)動控制軟件具有一套全面的常用命令，可與各種半導(dǎo)體平臺兼容和接口
典型的對齊周期時(shí)間小于四秒，有助于實(shí)現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量