Logosol diamond H3晶圓機(jī)器人、Logosol晶圓處理平臺

Logosol晶圓處理平臺包含源自30多年半導(dǎo)體自動化經(jīng)驗(yàn)的各種產(chǎn)品和服務(wù)。技術(shù)范圍從硬件、軟件和機(jī)械設(shè)計(jì)到制造、集成和應(yīng)用工程。該公司與晶圓搬運(yùn)機(jī)器人和預(yù)對準(zhǔn)器相關(guān)的設(shè)計(jì)解決了需要直接更換半導(dǎo)體晶圓廠遺留產(chǎn)品的應(yīng)用，以及OEM制造商新開發(fā)的資本設(shè)備中的自動化材料搬運(yùn)。這些產(chǎn)品線采用Logosol完全擁有和控制的技術(shù)，包括運(yùn)動控制電子設(shè)備、晶圓處理固件、軟件工具、實(shí)用工具和機(jī)械設(shè)計(jì)。整個(gè)技術(shù)范圍的可用性允許極高水平的無縫集成、可制造性、可靠性和成本效益。

Logosol擁有向各種實(shí)體授權(quán)其晶圓處理自動化專有技術(shù)的悠久歷史。作為靈活的模塊化自動化平臺的一部分，這些產(chǎn)品包括各種機(jī)器人尺寸和手臂配置。被許可方受益于公司在半導(dǎo)體自動化領(lǐng)域的豐富專業(yè)知識、成熟的產(chǎn)品和解決方案，以及在該領(lǐng)域30多年的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)。我們公司提供全面且高度可定制的統(tǒng)一技術(shù)，涵蓋您項(xiàng)目的方方面面，從機(jī)械設(shè)計(jì)到運(yùn)動控制電子設(shè)備、固件、軟件工具和實(shí)用程序。無論您需要簡單還是復(fù)雜的解決方案，我們都可以定制我們的技術(shù)來滿足您的特定要求。你將完全控制你的項(xiàng)目，而不依賴于第三方的補(bǔ)充。我們的技術(shù)設(shè)計(jì)靈活、可擴(kuò)展、可靠，確保高性能和高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。該公司不僅提供制造許可證和文件，還提供機(jī)器人控制器、電源和制造整個(gè)產(chǎn)品所需的特定電子模塊。此外，Logosol提供最全面的晶圓預(yù)對準(zhǔn)器，可與所有許可的晶圓搬運(yùn)機(jī)器人無縫集成。

LRC-x31g3是三軸、四軸和五軸機(jī)器人控制器，帶有集成CPU板和功率放大器，專為需要精確控制旋轉(zhuǎn)或線性無刷電機(jī)的應(yīng)用而設(shè)計(jì)。它們可以用作內(nèi)置或外部控制器。LRC-x31g3通過主機(jī)RS-232或10/100 Base-T以太網(wǎng)接口進(jìn)行控制。使用Logosol分布式控制網(wǎng)絡(luò)擴(kuò)展接口可以無縫連接額外的外部設(shè)備。LRC-x31g3配備了各種安全功能，如輸出和電機(jī)短路保護(hù)、欠壓關(guān)閉和編碼器存在控制、智能停止功能，以避免機(jī)器在外部停止或電源斷開時(shí)機(jī)械臂掉落。先進(jìn)的運(yùn)動控制技術(shù)支持非常高分辨率的編碼器，能夠產(chǎn)生出色的多軸軌跡。硬件輔助的位置鎖存提高了動態(tài)晶圓對準(zhǔn)的精度。

MCL5是Logosol的第五代專有運(yùn)動控制軟件包，提供特定領(lǐng)域編程語言和多任務(wù)實(shí)時(shí)解釋器。這是一個(gè)致力于機(jī)器人控制應(yīng)用程序設(shè)計(jì)的編程框架。MCL5可執(zhí)行程序包括運(yùn)動控制器和I/O模塊的集成、各種機(jī)器人運(yùn)動學(xué)的實(shí)現(xiàn)、對復(fù)雜軌跡運(yùn)動的支持以及對系統(tǒng)完整性的監(jiān)控。該可執(zhí)行文件還包括一個(gè)實(shí)時(shí)多任務(wù)腳本解釋器。它允許設(shè)計(jì)應(yīng)用特定的腳本，可用于協(xié)調(diào)機(jī)器人運(yùn)動的序列，并實(shí)現(xiàn)自定義主機(jī)通信協(xié)議。腳本語言由一組保留字定義，其表達(dá)式語法類似于C編程語言。

Diamond H3系列大氣機(jī)器人代表了一個(gè)重要的晶圓處理設(shè)備的設(shè)計(jì)和可靠性方面的工程進(jìn)步。
得益于技術(shù)先進(jìn)的組件，機(jī)器人利用超低慣性、高響應(yīng)的無刷伺服電機(jī)，結(jié)合零間隙Harmonic Drive?齒輪，大大提高了靈活性和精度。
創(chuàng)新的一體化1級潔凈室兼容設(shè)計(jì)將運(yùn)動控制器、伺服放大器和電源整合到機(jī)器人的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)占地面積內(nèi)。
高強(qiáng)度結(jié)構(gòu)件可實(shí)現(xiàn)頂部、底部或側(cè)面安裝配置，而不會影響系統(tǒng)剛度。32位實(shí)時(shí)內(nèi)核可沿平滑連續(xù)軌跡提供精確的運(yùn)動分析，而分布式控制架構(gòu)允許與線性軌跡、預(yù)對準(zhǔn)器和其他子組件無縫集成。