Logosol Inc，LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE 邊緣處理預對齊器， 晶圓預對準處理器,LPA系列 Logosol進口代理

Logosol? LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE 邊緣處理預對齊器

LPA6EH-3 Edge Handling Prealigner

• 150 mm 晶圓減接觸邊緣處理預對準器
• 對準能力：標準 150 mm 晶圓、150 mm 平面、透明和半透明基板。
• 接觸區域：邊緣接觸，接觸點寬度為 1 mm。
• 減接觸邊緣處理預對準器?可容忍更大的初始晶圓偏移（最多 6 mm）。

Logosol? LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE 邊緣處理預對準器規格參數：

Logosol? LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE 邊緣處理預對準器尺寸：