Logosol Inc，LPA26-3 , 獨立預對準器， 晶圓預對準處理器,LPA系列 Logosol進口代理

Logosol Inc，LPA26-3 ,獨立預對準器 ,LPA系列

LPA26-3 Standalone Prealigner

Logosol Inc，LPA26-3 , 晶圓預對準處理器特點：

• 創(chuàng)新、高性能、一體化設計，無需外部控制器和連接電纜，同時保持即插即用的兼容性。
• 由超低慣量無刷電機驅(qū)動，實現(xiàn)平穩(wěn)、即時響應。
• 先進的掃描電子技術(shù)，能夠檢測透明、半透明和不透明物體，無需在不同晶圓尺寸之間進行機械重新定位。
• 運動控制軟件?具有一套全面的常用命令，可實現(xiàn)與各種半導體平臺的兼容和接口。
• 典型對準周期時間少于 4 秒，有助于實現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量。

Logosol? LPA26-3 晶圓預對準處理器規(guī)格參數(shù)：

Logosol? LPA26-3 晶圓預對準處理器圖紙及尺寸：