Logosol? LPA12FS-3? 快速交換預對準器特征：

• 創新、高性能、一體化設計，無需外部控制器和連接電纜，同時保持即插即用的兼容性。
• 基于專有設計的快速交換功能，允許在針水平以下加載晶圓吸盤。
• 先進的掃描電子技術，能夠檢測透明、半透明和不透明物體，無需在不同晶圓尺寸之間進行機械重新定位。
• 運動控制軟件?具有一套全面的常用命令，可實現與各種半導體平臺的兼容和接口。
• 典型對準周期時間少于 5 秒，有助于實現最大系統吞吐量。