Logosol Inc，LPA26-3 , 獨(dú)立預(yù)對(duì)準(zhǔn)器， 晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)處理器,LPA系列 Logosol進(jìn)口代理

Logosol Inc，LPA26-3 ,獨(dú)立預(yù)對(duì)準(zhǔn)器 ,LPA系列

LPA26-3 Standalone Prealigner

Logosol Inc，LPA26-3 , 晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)處理器特點(diǎn)：

• 創(chuàng)新、高性能、一體化設(shè)計(jì)，無(wú)需外部控制器和連接電纜，同時(shí)保持即插即用的兼容性。
• 由超低慣量無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)、即時(shí)響應(yīng)。
• 先進(jìn)的掃描電子技術(shù)，能夠檢測(cè)透明、半透明和不透明物體，無(wú)需在不同晶圓尺寸之間進(jìn)行機(jī)械重新定位。
• 運(yùn)動(dòng)控制軟件?具有一套全面的常用命令，可實(shí)現(xiàn)與各種半導(dǎo)體平臺(tái)的兼容和接口。
• 典型對(duì)準(zhǔn)周期時(shí)間少于 4 秒，有助于實(shí)現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量。

Logosol? LPA26-3 晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)處理器規(guī)格參數(shù)：

Logosol? LPA26-3 晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)處理器圖紙及尺寸：