美國Logosol, LPA25-1E, 嵌入式預(yù)對準(zhǔn)器,晶圓直徑:2″, 3″, 100mm, 125mm

嵌入式晶圓預(yù)對準(zhǔn)器

LPA25-1E

創(chuàng)新的高性能一體化設(shè)計(jì)無需外部控制器和互連電纜，同時(shí)保持直接兼容性

由超低慣量無刷電機(jī)驅(qū)動，實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)、即時(shí)的響應(yīng)

先進(jìn)的掃描電子設(shè)備能夠檢測透明、半透明和不透明的物體，而無需在不同晶圓尺寸之間進(jìn)行機(jī)械重新定位

運(yùn)動控制軟件具有一整套常用命令，可與各種半導(dǎo)體平臺兼容和連接

典型的對中周期時(shí)間小于 4 秒，有助于實(shí)現(xiàn)最大的系統(tǒng)吞吐量