美國Logosol, LPA25-1E, 嵌入式預對準器,晶圓直徑:2″, 3″, 100mm, 125mm
LPA25-1E
創(chuàng)新的高性能一體化設(shè)計無需外部控制器和互連電纜，同時保持直接兼容性
由超低慣量無刷電機驅(qū)動，實現(xiàn)平穩(wěn)、即時的響應
先進的掃描電子設(shè)備能夠檢測透明、半透明和不透明的物體，而無需在不同晶圓尺寸之間進行機械重新定位
運動控制軟件具有一整套常用命令，可與各種半導體平臺兼容和連接
典型的對中周期時間小于 4 秒，有助于實現(xiàn)最大的系統(tǒng)吞吐量
