美國Logosol,預對準器, 邊緣處理,獨立的邊緣處理晶圓預對準器,LPA68EH-3-REHV1-S38-S（B）-R900V-NE-LH58

減少接觸邊緣處理的預對準器，適用于兩種晶圓尺寸，邊緣接觸區域小于 1mm

對準能力：標準 150 和 200 mm 晶圓透明和半透明基板

本體：LPA58 接口入口：側面（可選底部）

LPA68EH-3-REHV1-S38-S(B)-R900V-NE-LH58