美國Logosol,預對準器, 獨立晶圓預對準器,LPA38-3

獨立晶圓預對準器

LPA38-3

創(chuàng)新的高性能一體化設計無需外部控制器和互連電纜，同時保持直接兼容性

由超低慣量無刷電機驅(qū)動，實現(xiàn)平穩(wěn)、即時的響應

先進的掃描電子設備能夠檢測透明、半透明和不透明的物體，而無需在不同晶圓尺寸之間進行機械重新定位

運動控制軟件具有一整套常用命令，可與各種半導體平臺兼容和連接

典型的對中周期時間小于 4 秒，有助于實現(xiàn)最大的系統(tǒng)吞吐量

LPA38-3 規(guī)格

LPA38-3 一般尺寸