美國Logosol,晶圓預對準器,LPA 系列,獨立式 12 英寸 – 18 英寸晶圓,嵌入式 3 英寸 – 12 英寸晶圓,獨立式 2“-6” 晶圓,邊緣處理，8 英寸晶圓

LPA 系列 創新、高性能、兼容 1 類

獨特的一體化設計消除了外部控制器和互連電纜，同時保持了直接兼容性

掃描電子設備、運動控制器和電源包含在行業標準封裝內

由超低慣量無刷電機驅動，可實現平穩、即時的響應

先進的掃描電子設備能夠檢測透明、半透明和不透明的物體，而無需機械重新定位在不同尺寸之間

與晶圓處理機器人無縫接口，支持從 45mm 到 480mm 的所有晶圓尺寸，以及各種尺寸的方形襯底

Logosol 控制軟件具有一套全面的命令，可與各種半導體平臺兼容和接口

快速的對準周期時間有助于實現最大的系統吞吐量 可作為獨立設備以及與晶圓處理機器人配合使用的嵌入式設備

可作為獨立設備和與晶圓處理機器人配合使用的嵌入式設備使用固定選項包括真空、非真空和邊緣處理

LPA 系列預對準器一般尺寸

LPA 系列預對準器規格