EGF-6115 / EGPS-6115

能量范圍：?1 keV 至 50 keV
光束電流/光斑尺寸：
標(biāo)準(zhǔn)：10 nA 至 200 μA/15 mm 至 50 mm
高電流：10 nA 至 1 mA/15 mm 至 50 mm
安裝：?2?CF
特性/選項(xiàng)：可調(diào)光束操作時(shí)對(duì)準(zhǔn)、廣角均勻光束、發(fā)散控制、靜磁偏轉(zhuǎn)、光束清洗、自定義孔徑、雙網(wǎng)格脈沖