描述

能量掃描：恒定束流和近似恒定光斑尺寸的電子束

50 eV 至 5 keV

應(yīng)用：

• 表面物理研究
• 電離實(shí)驗(yàn)
• 電荷中和

功能/選項(xiàng)：

• 能量范圍廣
• Constant Beam Current
• 恒定光斑大小
• 變焦鏡頭對(duì)焦
• 高速脈沖
• 偏轉(zhuǎn)、柵格化
• 電腦 / 遙控器

能量范圍：50 eV 至 5 keV
光束電流：1 nA 至 100 μA
光斑尺寸：1 mm 至 10 mm
安裝：2.75“CF
特點(diǎn)/選項(xiàng)：用于能量掃描、偏轉(zhuǎn)、光柵、高速脈沖的變焦鏡頭聚焦

Kimball Physics EGL-2022 電子槍及其配套的 EGPS-2022 電源可應(yīng)用于各種表面物理、電離、電荷中和和其他真空物理研究。它是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，隨時(shí)可以連接到用戶(hù)的真空系統(tǒng)并啟動(dòng)。

光束能量、光束電流和光斑尺寸可在很寬的范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)。能量從 50 eV 到 5 keV 不等，束流從 1 nA 到 100 μA。通過(guò)使用多級(jí)和計(jì)算機(jī)設(shè)計(jì)的電子變焦鏡頭，在能量的兩個(gè)數(shù)量級(jí)變化上保持恒定的束流，光斑尺寸也大致恒定。電子槍使用單電位陰極產(chǎn)生低能量擴(kuò)散光束。

槍設(shè)計(jì)可以包括一個(gè)正偏置的加速度網(wǎng)格，以增強(qiáng)發(fā)射和準(zhǔn)直光束。通常對(duì)此網(wǎng)格單元施加負(fù)電位，以準(zhǔn)直光束、抑制發(fā)射并切斷光束。

全程采用 UHV 技術(shù)。該噴槍可以在 10 級(jí)真空中運(yùn)行^-11torr 最多 10^-5torr 用于標(biāo)準(zhǔn) Ta 盤(pán)陰極。電子槍可在 350°C 下工作，無(wú)需電纜。

其他信息：