Kimball Physics 離子槍系統或離子源 型號 #： IGS-4 IGPS-2014 Cs+、Li+、Na+、K+ 或 Rb+ 離子

描述

能量范圍：50 eV 至 5 keV
束流：1 nA 至 2 μA
光斑尺寸：<1 mm 至 20 mm
工作距離：10 mm 至 200 mm