HWIG-1407 離子槍

電子撞擊源的性能達到雙電子管水平
可調光斑尺寸 = 15μm，用于空間定義濺射
發射調節轟擊提供穩定的離子電流，前面板動態范圍 x300 可調
連續可變的束流能量高達 5keV
用于光束掃描和散光校正的雙八極鏡
預物鏡偏轉可縮小光斑尺寸
內置光束電流監測功能
沒有燈絲與樣品的直接視線，以避免不必要的樣品污染
可更換的光束微調光圈，一般使用壽命大于 500 小時
雙燈絲提供操作備份，燈絲壽命一般大于 500 小時
內部源壓力傳感器可監測離子源壓力
所有 UHV 兼容和抗蝕刻材料均用于制造
差分泵送，最大限度地減少主腔氣體負荷
可在各種惰性氣體范圍內運行

性能保證，5.0 千伏氬離子：