代理Get Control三軸加速度計(jì)測試工具,振動工具
AMHS和輸送機(jī)制造商使用三軸加速度計(jì)測試工具來量化和確認(rèn)其系統(tǒng)在開發(fā)、安裝和維護(hù)期間的振動特性。該行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)工具被200mm和300mm晶圓廠用來測量其物料處理系統(tǒng)對晶圓批料引起的振動。通過檢測軌道偏移的早期跡象,系統(tǒng)可以被維護(hù)以盡量減少對晶圓批料的振動。?三軸加速度計(jì)測試工具可以作為獨(dú)立單元使用或與GCI信息中心結(jié)合使用,以自動記錄并提供位置數(shù)據(jù),由AMHS車輛提供。
GCI的三軸加速度計(jì)測試工具為AMHS供應(yīng)商和最終用戶提供了一種精確的振動測量解決方案。該工具在自動或手動運(yùn)輸過程中同時(shí)獲取和記錄X、Y和Z軸的振動數(shù)據(jù)。
該三軸加速度計(jì)測試工具由電池供電,自給自足。適配板包括用于將工具牢固安裝在300mm FOUP內(nèi)。對于200mm應(yīng)用,可訂購選項(xiàng)安裝板,將工具牢固安裝在200mm晶圓架內(nèi)。LCD顯示屏和鍵盤提供配置選項(xiàng)的訪問。
機(jī)載數(shù)據(jù)壓縮
該Get Control三軸加速度計(jì)測試工具實(shí)時(shí)對每個(gè)軸上的512個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)進(jìn)行數(shù)據(jù)壓縮。提供幾種數(shù)據(jù)壓縮選項(xiàng),包括RMS、峰值、峰值頻率和真RMS。每個(gè)軸上的數(shù)據(jù)壓縮在每半秒內(nèi)進(jìn)行(使用FFT),每種壓縮類型每秒產(chǎn)生兩個(gè)壓縮數(shù)據(jù)點(diǎn)。記錄容量受壓縮類型限制(最多兩到六小時(shí))。
減少后的數(shù)據(jù)存儲在內(nèi)部SD卡上。在上傳到PC進(jìn)行分析之前,可以存儲多個(gè)記錄會話。提供RS-232端口,通過InfoCenter桌面應(yīng)用程序上傳數(shù)據(jù)(聯(lián)系GCI)。
時(shí)域記錄選項(xiàng)
該Get Control三軸加速度計(jì)測試工具可以選配時(shí)域記錄?選項(xiàng),該選項(xiàng)將時(shí)域數(shù)據(jù)記錄到安全數(shù)字(SD)存儲卡中。使用此選項(xiàng),三軸加速度計(jì)測試工具每軸每秒直接記錄512個(gè)時(shí)域數(shù)據(jù)點(diǎn)到安裝的SD卡上。記錄容量受限于SD卡可用空間(最多6小時(shí))。數(shù)據(jù)縮減在PC上通過GCI的VibPlot或InfoCenter Desktop應(yīng)用程序提供。
VibPlot 分析應(yīng)用程序
VibPlot?提供了對記錄的時(shí)間域數(shù)據(jù)進(jìn)行頻率分析的工具。?VibPlot?復(fù)制了 Get Control三軸加速度計(jì)測試工具?中的機(jī)載數(shù)據(jù)減少功能,并提供了額外的分析功能,例如三維瀑布圖和顏色頻譜圖。時(shí)間域數(shù)據(jù)可以與減少數(shù)據(jù)(RMS、峰值、真RMS)和每個(gè)半秒間隔的FFT結(jié)果一起顯示。
信息中心桌面應(yīng)用程序
該InfoCenter桌面應(yīng)用程序提供了與VibPlot相同的工具,并且是更新的應(yīng)用程序,還可以上傳和顯示車載簡化數(shù)據(jù)集。
功能
軸
- X、Y和Z
測量
- 頻率 直流到150赫茲
- 振動 0.03g 到 2.00g (±0.01g)
電池 / 充電器
- 可充電LIMH電池組
- 高級電池充電電路
- 鋰電池提供靜態(tài) RAM 備份 – 壽命長達(dá) 10 年(運(yùn)行時(shí)間)
- 低電量感應(yīng)和警告指示燈。
數(shù)據(jù)分析類型
- 均方根
- 峰值
- 均方根和峰值
- 均方根、峰值和頻率
- RMS,峰值,頻率,真RMS,和N
用戶界面
- 2 × 16字符液晶顯示屏
- 4鍵鍵盤
閃存PROM
- 存儲系統(tǒng)固件
- 通過GCI的固件文件輕松升級
內(nèi)置microSD卡
- 錄音室
- 存儲容量允許進(jìn)行數(shù)百個(gè)單獨(dú)的時(shí)間戳記錄會話(具體取決于記錄時(shí)長)。
RS-232 接口
- 提供一個(gè)RS-232接口,用于將記錄的數(shù)據(jù)下載到主機(jī)PC。