代理Get Control三軸加速度計測試工具,振動工具
AMHS和輸送機制造商使用三軸加速度計測試工具來量化和確認其系統在開發、安裝和維護期間的振動特性。該行業標準工具被200mm和300mm晶圓廠用來測量其物料處理系統對晶圓批料引起的振動。通過檢測軌道偏移的早期跡象,系統可以被維護以盡量減少對晶圓批料的振動。?三軸加速度計測試工具可以作為獨立單元使用或與GCI信息中心結合使用,以自動記錄并提供位置數據,由AMHS車輛提供。
GCI的三軸加速度計測試工具為AMHS供應商和最終用戶提供了一種精確的振動測量解決方案。該工具在自動或手動運輸過程中同時獲取和記錄X、Y和Z軸的振動數據。
該三軸加速度計測試工具由電池供電,自給自足。適配板包括用于將工具牢固安裝在300mm FOUP內。對于200mm應用,可訂購選項安裝板,將工具牢固安裝在200mm晶圓架內。LCD顯示屏和鍵盤提供配置選項的訪問。
機載數據壓縮
該Get Control三軸加速度計測試工具實時對每個軸上的512個數據點進行數據壓縮。提供幾種數據壓縮選項,包括RMS、峰值、峰值頻率和真RMS。每個軸上的數據壓縮在每半秒內進行(使用FFT),每種壓縮類型每秒產生兩個壓縮數據點。記錄容量受壓縮類型限制(最多兩到六小時)。
減少后的數據存儲在內部SD卡上。在上傳到PC進行分析之前,可以存儲多個記錄會話。提供RS-232端口,通過InfoCenter桌面應用程序上傳數據(聯系GCI)。
時域記錄選項
該Get Control三軸加速度計測試工具可以選配時域記錄?選項,該選項將時域數據記錄到安全數字(SD)存儲卡中。使用此選項,三軸加速度計測試工具每軸每秒直接記錄512個時域數據點到安裝的SD卡上。記錄容量受限于SD卡可用空間(最多6小時)。數據縮減在PC上通過GCI的VibPlot或InfoCenter Desktop應用程序提供。
VibPlot 分析應用程序
VibPlot?提供了對記錄的時間域數據進行頻率分析的工具。?VibPlot?復制了 Get Control三軸加速度計測試工具?中的機載數據減少功能,并提供了額外的分析功能,例如三維瀑布圖和顏色頻譜圖。時間域數據可以與減少數據(RMS、峰值、真RMS)和每個半秒間隔的FFT結果一起顯示。
信息中心桌面應用程序
該InfoCenter桌面應用程序提供了與VibPlot相同的工具,并且是更新的應用程序,還可以上傳和顯示車載簡化數據集。
功能
軸
- X、Y和Z
測量
- 頻率 直流到150赫茲
- 振動 0.03g 到 2.00g (±0.01g)
電池 / 充電器
- 可充電LIMH電池組
- 高級電池充電電路
- 鋰電池提供靜態 RAM 備份 – 壽命長達 10 年(運行時間)
- 低電量感應和警告指示燈。
數據分析類型
- 均方根
- 峰值
- 均方根和峰值
- 均方根、峰值和頻率
- RMS,峰值,頻率,真RMS,和N
用戶界面
- 2 × 16字符液晶顯示屏
- 4鍵鍵盤
閃存PROM
- 存儲系統固件
- 通過GCI的固件文件輕松升級
內置microSD卡
- 錄音室
- 存儲容量允許進行數百個單獨的時間戳記錄會話(具體取決于記錄時長)。
RS-232 接口
- 提供一個RS-232接口,用于將記錄的數據下載到主機PC。