DSTI半導體專用流體旋轉接頭與耦合器
我們為半導體行業領導者提供流體密封解決方案,助力生產全球超薄尖端硅晶圓。
半導體制造環境要求無污染的集成方案,并對精度與性能保持嚴苛標準。DSTI作為全球領先的半導體精密流體旋轉接頭供應商,憑借獨家設計優勢滿足化學機械拋光(CMP)及自動化系統的嚴格要求。
流體密封解決方案
? 化學機械拋光(CMP)系統
? 半導體制造自動化與機器人技術
DSTI CMP系統專用流體旋轉接頭與耦合器
流體密封解決方案
化學機械拋光(CMP)系統
專為潔凈環境設計的DSTI高精度緊湊型旋轉接頭,為各類機械拋光操作提供可靠的流體傳輸方案。特殊密封技術可處理磨蝕性、腐蝕性介質,并適應寬溫域環境,顯著延長使用壽命,減少CMP系統停機時間。
DSTI半導體自動化與機器人專用流體旋轉接頭與耦合器
流體密封解決方案
半導體制造自動化與機器人技術
DSTI高性能專業流體密封解決方案在硅晶圓自動化制造中發揮著關鍵作用。我們的資深工程師團隊將直接與您協作,開發完全符合您應用場景性能、成本及交付需求的定制化解決方案。