DOVER MOTION,微型線性平臺MMX™-Z-25,高通量目標聚焦應用

DOVER MOTION,微型線性平臺MMX™-Z-25,高通量目標聚焦應用,MMX-Z-25 是一款微型線性平臺,內置驅動器特別適用于臺式儀器和小型空間。其緊湊結構提供了優異的機械剛性與伺服帶寬,非常適合高通量成像應用。

微型線性平臺 – MMX™-Z-25
高通量目標聚焦應用解決方案

規格參數

產品描述
MMX-Z-25 是一款微型線性平臺,內置驅動器特別適用于臺式儀器和小型空間。其緊湊結構提供了優異的機械剛性與伺服帶寬,非常適合高通量成像應用。

技術規格(Specifications)

參數數值
行程25 mm
精度6 μm TIR
重復精度±0.4 μm
最大負載(帶磁性配重)1.5 kg

產品特點(Description)

MMX-Z-25 微型線性平臺設計特點

  • 獨特電機設計:提供更平穩的運動表現與行業領先的速度穩定性。

  • 無刷無鐵芯直線伺服電機:支持高速、免維護,適用于高通量應用;同時具備無齒槽效應的平滑運動,結合 6 μm TIR 精度和 ±0.4 μm 重復精度。

配重能力

  • 小于 0.2 kg:無需配重

  • 0.2 kg – 1.5 kg:使用磁性配重

  • 1.5 kg – 4.5 kg:使用氣動配重

體積最小的直驅線性電機平臺

  • 采用直驅電機技術,無需傳統機械傳動,具備更高精度、減少磨損、響應更快、運行更安靜等優勢,便于集成。

提升效率的緊湊設計

  • MMX 平臺采用高精度防爬滾柱導軌,確保超平穩運動、高剛性與可靠性,同時保持低外形高度,提升通量性能。

快速穩定定位

  • 剛性滾柱導軌與強大電機實現快速定點響應,提高成像效率。

高分辨率反饋系統

  • 配備高分辨率線性編碼器和伺服控制系統,實現業內領先的 6 μm TIR 精度,并帶有可調限位傳感器安裝座。

可選配置(Options)

  • 電機選項:無鐵芯直驅伺服電機

  • 反饋選項:線性編碼器(支持模擬或數字,標準分辨率為 1 或 0.1 微米,其他可定制)

應用領域(Applications)

MMX-Z-25 提供優異的機械剛性與伺服性能,專為高通量聚焦應用設計,適用于:

  • 焦平面定位:Z 向聚焦小于 5 微米的位移通常在 20 毫秒內完成,可與 XY 移動同步。

  • 幀捕獲:就位穩定性對圖像質量至關重要;位置穩定性/抖動通常小于 100 納米。

  • 節省空間:平臺結構緊湊,適合嵌入臺式儀器內部。

說明版本下載鏈接備注
MMX-Z-25 微型線性平臺數據表Rev A4下載完整技術規格文檔
電氣引腳定義2015-12下載接線說明

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