DOVER MOTION,ZE™精密垂直升降平臺(tái),用于晶圓檢測、掃描和探針測試,能夠?qū)崿F(xiàn)極其直線、平穩(wěn)且重復(fù)性優(yōu)異的垂直移動(dòng)。該系列提供多種行程選項(xiàng)，從 0.5 英寸到 1.5 英寸（約 12.5 至 38 毫米），并采用低高度設(shè)計(jì)以節(jié)省設(shè)備空間。
精密垂直升降平臺(tái) – ZE™
直線、平穩(wěn)且可重復(fù)的運(yùn)動(dòng)表現(xiàn)
產(chǎn)品概述
Dover Motion 的 ZE™ 精密垂直升降平臺(tái)提供了一種結(jié)構(gòu)緊湊且高精度的垂直運(yùn)動(dòng)解決方案。該平臺(tái)專為晶圓檢測、掃描和探針測試等高要求應(yīng)用而設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)極其直線、平穩(wěn)且重復(fù)性優(yōu)異的垂直移動(dòng)。該系列提供多種行程選項(xiàng)，從 0.5 英寸到 1.5 英寸（約 12.5 至 38 毫米），并采用低高度設(shè)計(jì)以節(jié)省設(shè)備空間。
技術(shù)規(guī)格
| 參數(shù) | ZE-05 | ZE-10 | ZE-15 |
|---|---|---|---|
| 行程（mm） | 12.5 | 25 | 38 |
| 行程（英寸） | 0.5 | 1.0 | 1.5 |
| 定位精度（±μm）*1 | 38 | 76 | 114 |
| 雙向重復(fù)精度（±μm） | 1.5 | 1.5 | 1.5 |
| 負(fù)載能力（kg）*2 | 12.5 | 12.5 | 12.5 |
| 平整度與直線度（μm TIR） | 5 | 10 | 15 |
| 總質(zhì)量（kg） | 7.4 | 9.1 | 13.1 |
*1 步進(jìn)電機(jī)為開環(huán)控制，如需更高精度可通過編碼器反饋或補(bǔ)償方式實(shí)現(xiàn)。
*2 若負(fù)載超過此范圍，請(qǐng)咨詢應(yīng)用工程師。
產(chǎn)品描述
ZE™ 升降平臺(tái)采用精密的非循環(huán)導(dǎo)軌，位于平臺(tái)四個(gè)角，確保在全行程范圍內(nèi)俯仰角誤差小于 15 角秒。0.5 英寸與 1 英寸行程版本具有極低的收縮高度，有效減小整機(jī)體積。8 英寸的方形安裝板可將負(fù)載與升力對(duì)齊，避免負(fù)載懸臂安裝，從而提升平臺(tái)穩(wěn)定性。
該平臺(tái)采用 NEMA 23 規(guī)格的電機(jī)（可選步進(jìn)或伺服），通過絲桿驅(qū)動(dòng)沿楔形結(jié)構(gòu)運(yùn)行的滾輪，并配有防反沖摩擦螺母，可實(shí)現(xiàn)高分辨率定位與出色的重復(fù)性。每個(gè)平臺(tái)標(biāo)配高精度霍爾效應(yīng)限位開關(guān)，并通過可靠的 D-sub 鎖緊連接器引出。
關(guān)鍵設(shè)計(jì)特點(diǎn)：
低外形設(shè)計(jì)，無需負(fù)載懸臂
出色的直線度和平穩(wěn)性
防反沖摩擦螺母，確保重復(fù)定位精度
可選配置
電機(jī)選項(xiàng)：步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī)
反饋選項(xiàng)：旋轉(zhuǎn)編碼器
典型應(yīng)用
ZE™ 平臺(tái)非常適用于以下場景：
晶圓檢測
精密掃描
探針測試（如半導(dǎo)體探針臺(tái))
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