DOVER MOTION,SmartStage™ Z-50 納米定位平臺(tái),運(yùn)動(dòng)平臺(tái),用于需要精密垂直運(yùn)動(dòng),SmartStage Z-50 是一款納米級(jí)精度的運(yùn)動(dòng)平臺(tái),專為需要極高定位精度(通常為納米級(jí))的應(yīng)用而設(shè)計(jì)。
內(nèi)置控制器的納米定位平臺(tái)
適用于垂直方向應(yīng)用的 50 毫米線性定位器
產(chǎn)品名稱:SmartStage™ Z-50 納米定位平臺(tái)
SmartStage Z-50 是一款納米級(jí)精度的運(yùn)動(dòng)平臺(tái),專為需要極高定位精度(通常為納米級(jí))的應(yīng)用而設(shè)計(jì)。這款具備 50 毫米行程的直驅(qū)線性電機(jī)平臺(tái),在 Z 軸方向提供 5 納米的分辨率,特別適用于需要精密垂直運(yùn)動(dòng)的應(yīng)用,例如光學(xué)顯微鏡、活細(xì)胞成像和微流控系統(tǒng)。
主要優(yōu)勢(shì):
可配常力平衡系統(tǒng),適用于 600 克至 3,800 克的負(fù)載
所有控制系統(tǒng)內(nèi)置,僅需一根外部連接線
原型開發(fā)方便,量產(chǎn)成本效益高
技術(shù)規(guī)格
參數(shù) | 數(shù)值 |
---|---|
行程(mm) | 50 |
位置反饋 – 編碼器分辨率(nm) | 5 nm |
負(fù)載質(zhì)量(g)*1 | 3,800 g |
全行程精度(2σ,μm)*2 *3 | <5 |
全行程雙向重復(fù)精度(2σ,μm)*2 *3 | <0.8 |
回零重復(fù)精度(2σ,μm) | ≤1 |
最小移動(dòng)步進(jìn)(nm) | <100 |
1 μm 步進(jìn),±50 nm 定位穩(wěn)定時(shí)間(ms)*3 | ≤100 |
1 mm 步進(jìn),±50 nm 定位穩(wěn)定時(shí)間(ms)*3 | ≤250 |
最大速度(mm/s)*? | 300 |
無負(fù)載最大加速度(m/s2)*? | 10 |
平整度與直線度(μm TIR) | 3 |
偏航、俯仰(典型,μrad) | <150 |
運(yùn)動(dòng)部件質(zhì)量(不含物鏡)(kg) | 0.44 |
總質(zhì)量(kg) | 0.86 |
*1 支持其他負(fù)載,請(qǐng)聯(lián)系 Dover Motion。
*2 按 ISO 230-2 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試。
*3 精度經(jīng)兩點(diǎn)斜率修正。
*? 最大加速度與速度依賴編碼器與負(fù)載。
產(chǎn)品描述
SmartStage Z-50 基于 SmartStage 線性系列的緊湊架構(gòu)設(shè)計(jì),專為高性能顯微和生命科學(xué)儀器提供精密運(yùn)動(dòng)解決方案。
主要特點(diǎn)包括:
寬達(dá) 50 mm 的行程,適用于 Z 軸/聚焦應(yīng)用;
緊湊集成設(shè)計(jì),內(nèi)部集成編碼器、插值器、驅(qū)動(dòng)與運(yùn)動(dòng)控制電子元件;
實(shí)現(xiàn)高就位穩(wěn)定性,避免由外部連線、接地問題或反饋信號(hào)干擾造成的誤差;
簡(jiǎn)化的軟件接口與統(tǒng)一 API,便于 X、Y、Z 三軸集成;
配重選項(xiàng)支持 600–3,800 克負(fù)載;如超出范圍,可聯(lián)系定制。
典型應(yīng)用
SmartStage Z-50 是對(duì)垂直方向具大行程與高負(fù)載快速精密定位要求的首選產(chǎn)品,適用于以下領(lǐng)域:
新一代測(cè)序(NGS)
數(shù)字細(xì)胞形態(tài)分析
自動(dòng)數(shù)字病理
光學(xué)計(jì)量儀器
半導(dǎo)體與納米技術(shù)成像
數(shù)字顯微鏡
高通量成像
自動(dòng)細(xì)胞計(jì)數(shù)
協(xié)同運(yùn)動(dòng)功能(Coordinated Motion)
用戶定義的運(yùn)動(dòng)曲線模式(UDP)允許平臺(tái)通過輔助輸入實(shí)現(xiàn)協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)。平臺(tái)可由其他軸或外部信號(hào)源驅(qū)動(dòng),跟隨預(yù)設(shè)的運(yùn)動(dòng)曲線進(jìn)行同步運(yùn)動(dòng)。