代理Dover Motion SmartStage™ SS-XY-100×100-100nm XY軸線性載物臺
Dover Motion SmartStage™ 線性定位平臺
Dover Motion SmartStage™ 線性定位平臺,可作為用于單軸的 SmartStage Linear 或用于雙軸的 SmartStage™™ XY,具有一系列行程尺寸和選項,可滿足您的精密運動需求。
Dover Motion SmartStage™ XY 的優勢
- 里面有 ALL 控件;一根外部電纜
- 5 nm 分辨率
- 0.8 um 雙向重復精度
- 易于原型設計
- 經濟高效的生產
Dover Motion SmartStage™ SS-XY-100×100-100nm線性定位平臺規格:
行程 | 50 | 100 | 150 | 200 | 5nm 超分辨率* |
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位置反饋 – 編碼器分辨率** | 5 納米 | 5 納米 | 5 納米 | 5 納米 | |
精度 (2σ, μm)?*1 | 10 | 12 | 14 | 16 | |
編碼器電子細分誤差 (3-sigma) (nm) | – | – | – | – | 10 納米 |
雙向重復性 (2σ, μm) | 0.8 | 0.8 | 0.8 | 0.8 | |
歸位重復性 (μm) | 1 | 1 | 1 | 1 | |
最小移動 (nm) | 100 | 100 | 100 | 100 | |
保持穩定性 (± nm) | 30 | 30 | 30 | 30 | |
負載能力 (kg)*2 | 10 | 10 | 10 | 10 | |
最大加速度 (m/s2)*3 | 10 | 10 | 10 | 10 | |
最大速度 (m/s)*3 | 0.6 | 1 | 1 | 1 | |
平面度和直線度 (μm TIR)*4 | 3 | 4 | 6 | 6 | |
總質量(單個軸) (kg) | 0.8 | 1.1 | 1.4 | 1.7 |
Dover Motion SmartStage™ 定位平臺具有以下功能和優勢:
硬件敏捷性:
- 獨特、緊湊、集成的運動平臺和小型化控制器,帶有一根組合電源和通信電纜。
- 易于集成;占地面積小,復雜性低,儀器內的部件數量少。
- 多階段的集成解決方案。
性能:
- 精確、高性能的運動控制 – 以及支持軟件工具 – 適用于最苛刻的應用。
- 令人信服的性價比,使用創新的專利系統架構實現。
- 美國專利 10,374,530
- 美國專利 10,367,436
- 使用壽命長:靜音無刷直線電機、非接觸式編碼器、交叉滾子直線軸承。
可靠性:
- 經驗豐富的供應商的可靠性和信心。
- 超過 22,000 套運動系統運往全球財富 500 強公司。
- 準時交貨率超過 95%。
集成解決方案:
- 通過將編碼器、插補器、驅動器和運動控制器電子元件全部包含在載物臺內,SmartStage 定位器能夠實現高位置穩定性,并避免由外部布線、接地不良和其他對反饋信號的不利影響引起的噪聲誤差。
- SmartStage XY 和 DOF-5 物鏡聚焦平臺的生態系統為您的應用提供了集成的控制解決方案。
- 使用 X、Y 和 Z 平臺之間的通用 API 簡化軟件架構。