DAEILSYSTEMS DVIA-M系列 內置主動隔振系統 主動隔振器 反饋控制算法 掃描電子顯微鏡 透射電子顯微鏡 掃描透射電子顯微鏡 掃描隧道電子顯微鏡

 

DVIA-M 系列

無噪聲的納米級成像

DVIA-M 是世界上最先進的內置主動隔振系統,集成在各種平臺中,并用作電子顯微鏡內部的內置主動隔振系統。

亞赫茲隔振性能

DVIA-M 系列嵌入了最先進的主動振動控制算法,可在六個自由度下提供 1 Hz 時 50% – 80% 的隔振效果,在 2 Hz 時提供 90% 的隔振效果。

內置主動隔振系統

DVIA-M 主動隔振器設計為納米級成像設備(如電子顯微鏡)的內置主動隔振系統

反饋和饋送控制算法

DVIA 系列使用反饋控制算法連續檢測干擾隔離表面的振動,并立即做出反應以實時減少振動。DVIA 系列采用前饋控制算法,在地板振動傳遞到安裝在主動隔振系統上的設備之前,提前過濾掉地板振動。

反饋和饋送 <br />控制算法

所有六個自由度的主動隔振

DVIA 系列控制三個平移度(X、Y 和 Z)和三個旋轉度(俯仰、滾動和偏航)的振動。

DVIA-M-絕對振動控制全六自由度

1 Hz時隔振率為 50% – 80%≥≥2 Hz 時隔振率為 90%

DVIA-M 性能

應用

掃描電子顯微鏡透射電子顯微鏡掃描透射電子顯微鏡掃描隧道電子顯微鏡


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