DAEILSYSTEMS Base主動隔離平臺 DVIA-UB系列 主動隔振平臺 低矮型主動隔振平臺 低矮型SEM基礎(chǔ)平臺 DVIA-UB350 DVIA-UB700 DVIA-UB1000

Base 主動隔離平臺DVIA-UB 系列

低矮型 SEM 基礎(chǔ)平臺

DVIA-UB 是一個低矮的主動隔振平臺,集成了 DVIA-U 主動隔振器,旨在將掃描電子顯微鏡與低頻地板振動隔離開來。

低頻隔振

DVIA-UB 系列嵌入了先進(jìn)的主動振動控制算法,可在 ≥4 Hz 下提供 ≥90% 的隔振。

低矮型主動隔振平臺

DVIA-UB 是一款低矮的底座主動隔振平臺,是空間有限設(shè)備的最佳振動解決方案。

無空氣

所有 DVIA-UB 都需要電氣性才能運行。

用戶 UI 軟件

我們?yōu)樘峁┱嬲郎p少地板振動的隔振系統(tǒng)所做的工作感到自豪。UI 軟件隨 DVIA-U 系列一起提供,供用戶實時監(jiān)控主動隔振性能和地板振動水平。

反饋和饋送控制算法

DVIA 系列使用反饋控制算法連續(xù)檢測干擾隔離表面的振動,并立即做出反應(yīng)以實時減少振動。DVIA 系列采用前饋控制算法,在地板振動傳遞到安裝在主動隔振系統(tǒng)上的設(shè)備之前,提前過濾掉地板振動

反饋和饋送 <br />控制算法

所有六個自由度的主動隔振

DVIA 系列控制三個平移度(X、Y 和 Z)和三個旋轉(zhuǎn)度(俯仰、滾動和偏航)的振動。

DVIA-M-絕對振動控制全六自由度


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