專為半導體計量而設計

DVIA-P 系列是先進的主動式氣動隔振系統，采用氣動伺服閥執行器來控制低頻振動，并通過超精密電動線性平臺穩定半導體計量設備。DVIA-P 系列結合了極其靈敏的傳感器和強大的氣動伺服驅動器，可產生巨大的力來抵消來自建筑物地板的傳入振動，并提供超快的穩定時間，以實現納米級分辨率成像，而不會受到任何干擾。

卓越的隔振性能

DVIA-P 系列中嵌入了先進的反饋和前饋振動控制算法，可在 6 個自由度下在 2 Hz 下提供 40 – 70% 的振動。

專為半導體計量設備設計

DVIA-P 系列平臺前饋控制系統基于實時模擬輸入和加速度數據，可有效補償電動線性平臺引起的殘余振動。當線性平臺以較大的加速度和質量行走時，出現大位移時，DVIA-P 系列的加速度反饋控制最大限度地減少了位移，減少了穩定時間，提高了系統的位置精度。此外，如果將實時測量的平臺位置位移加速度的模擬輸出連接到控制器，則可以采用平臺前饋系統。SFF 系統產生的力與平臺旋轉力矩和平臺振動力成正比，可以大大降低線性平臺的位置位移。

10 μm 位置精度

位置傳感器連續測量隔振系統的位置，然后通過數字信號處理器保持其位置。因此，系統的位置精度得到了顯著提高。此外，加速度計可立即檢測來自地板或移動平臺的振動，然后傳輸數字信號以作氣動執行器以抵消振動。

強大的氣動執行器，支持移動舞臺應用

由于氣動執行器產生的巨大力，DVIA-P 系列本質上比被動隔振系統更堅硬。氣動執行器產生很大的力，以支持帶有集成電動線性平臺的半導體/顯示器計量設備

反饋和前饋控制算法

A 階段前饋
如果隔振系統事先有關于電動線性平臺的信息，則系統可以產生與動態線性平臺在相反方向上運動的力相等的力。因此，電動線性平臺引起的外力被有效地降至最低。

B 加速度反饋
該反饋控制系統采用傳感器和執行器來連續檢測干擾隔離有效載荷的振動，然后做出反應以最大限度地減少振動。加速度反饋系統不僅從地板上減少，而且有效地最大限度地減少了電動線性平臺的振動。

C 位置反饋
當隔振底座受到振動干擾時，位置反饋通過位置傳感器測量位移，位置傳感器將信號傳輸到數字控制器。數字控制器接收到來自傳感器的信號后，驅動執行器返回其原始位置，從而提高位置精度。

D 地板前饋
地板前饋系統以預定義的方式過濾地板振動。當存在已知因素時，例如施加到隔離底座的力、環境振動數據以及需要隔離的設備信息，則使用前饋控制系統。與反饋控制系統不同，前饋系統分析設備的動態特性，并通過試錯法調整前饋增益以作執行器。

智能控制系統

DVIA-P 系列的數字控制器采用 A/D 19 通道 16 位和 D/A 10 通道 24 位 D/A轉換器來獲得振動的同步采樣。數字控制器通過不斷計算所有振動源來控制系統，然后傳輸信號以驅動氣動執行器。

所有六個自由度的主動隔振

DVIA-P 系列以 6 個自由度控制振動，包括 3 個平移運動度（X、Y 和 Z）和 3 個旋轉度（俯仰、滾動和偏航）。

現場調音，追求完美

地板振動水平因安裝地點、周圍環境、不規則事件和各種振動源而異。因此，我們提供主動隔振系統的現場調整，由我們經驗豐富的工程師執行，以保證最大的隔振性能和客戶滿意度。