防爆型電子秤
- 適用于半導體工藝中的氣體供應系統和相關設備
- 易于安裝與使用
- 采用 4~20 mA 模擬輸出
- 產品的生產與包裝均在 CAS Semiconductor 工廠完成
- 通過 CE 認證，獲得 NEPSI T4、T6 防爆認證
產品特點
目前，半導體生產線各工藝環節中使用了多種氣體，包括 HF、Cl?、Ar?、He?、NH?、SiH?、PH? 和 Cl? 等。
這些氣體中存在可燃性氣體，因此存在爆炸危險，若缺乏防護措施，將容易引發工業事故。
若設備未直接暴露于氣體環境，僅采用耐壓防爆（例如外殼密封）已屬安全；
但在如 BSGS 等氣體設備和氣瓶密集場所，為防止氣體泄漏擴散導致事故，應使用本質安全型防爆電子秤。
該電子秤通過了本質安全防爆認證（即各電氣部件均具備本安防爆結構），
可阻斷爆炸的發生，適用于 Zone 0、Zone 1 和 Zone 2 危險區域。
根據本質安全防爆認證規范，關鍵部件如齊納二極管、電流限制電阻，以及印刷電路板（PCB）圖案布線應滿足以下條件：
不產生超過氣體點燃溫度的熱量
無故障運行
同時，產品的外殼、連接器、接地（GND）、防護等級（如 IP 等級）等也必須滿足安全要求。
技術規格
型號：CS-EXWS-200EY-0
稱重范圍：0 ~ 200 kg
精度：±0.1% 滿量程
供電：24V DC
輸出：4~20 mA（2線制）
尺寸：235 × 350 × 35 mm
防爆等級：EX ia IIC T4
a. 外部轉換器不適用防水等級
b. 外部轉換器由系統外部供電
濕度適用范圍：相對濕度 45% ~ 75%
信號轉換器：外置轉換器（External Converter）
