德國(guó) Bernhard Halle Nachfl 反射鏡 拋光板 IPL5.25 IPL10.40

具有平面或球面的反射鏡和板是大多數(shù)光學(xué)裝置的基本部分。鏡子用來(lái)使光束偏轉(zhuǎn)或聚焦。拋光板可以用作窗戶、分束器或標(biāo)準(zhǔn)子。

下面介紹了決定反射鏡和反射板質(zhì)量的一些重要參數(shù)。

外形偏差

形狀偏差公差定義了實(shí)際表面相對(duì)于理想形狀(平面或球體)的允許差值。在光學(xué)中，公差通常以波長(zhǎng)λ為單位(例如λ/4)。要將此規(guī)格轉(zhuǎn)換為長(zhǎng)度單位，必須知道參考波長(zhǎng)λref。除非另有說(shuō)明(d.h. λ/10 entspright 54,6 nm)，本目錄中的規(guī)格均參考波長(zhǎng)為λrefnm。

形狀偏差規(guī)范的另一個(gè)參數(shù)是用來(lái)評(píng)估測(cè)量數(shù)據(jù)的方法。在這方面，極值的差值(峰-谷，PV)和偏差的二次平均(均方根，RMS)是常用的。在計(jì)算PV值時(shí)，只考慮偏差最大的位置，而RMS值表征了整個(gè)表面的平均偏差。這兩種值都有其使用動(dòng)機(jī)。除非另有說(shuō)明，否則在本目錄中為PV偏差指定的值。雖然在PV和RMS偏差之間沒有一般的關(guān)系，但對(duì)于實(shí)際發(fā)生的大多數(shù)表面，可以假設(shè)RMS偏差比PV值低3-5倍。例如，λ/10 (PV)對(duì)應(yīng)λ/30-λ/50 (RMS)。

本目錄中指定的表格偏差至少適用于90%的區(qū)域。元素外部尺寸的95%)。如果只使用光圈的一個(gè)較小的部分，相應(yīng)的形狀偏差將大大降低。

微粗糙度

微粗糙度描述的是表面與橫向尺寸的偏差已達(dá)到或更低的波長(zhǎng)(i.e. typ. <1μm)。這些偏差主要是造成散射光的原因。

微粗糙度通常由表面偏差的二次平均Rq來(lái)表示。車間使用的拋光技術(shù)可以得到 Rq <1nm (typ. Rq <0,5 nm).