德國 Bernhard Halle Nachfl 反射鏡 拋光板 IPL5.25 IPL10.40

具有平面或球面的反射鏡和板是大多數光學裝置的基本部分。鏡子用來使光束偏轉或聚焦。拋光板可以用作窗戶、分束器或標準子。

下面介紹了決定反射鏡和反射板質量的一些重要參數。

外形偏差

形狀偏差公差定義了實際表面相對于理想形狀(平面或球體)的允許差值。在光學中，公差通常以波長λ為單位(例如λ/4)。要將此規格轉換為長度單位，必須知道參考波長λref。除非另有說明(d.h. λ/10 entspright 54,6 nm)，本目錄中的規格均參考波長為λrefnm。

形狀偏差規范的另一個參數是用來評估測量數據的方法。在這方面，極值的差值(峰-谷，PV)和偏差的二次平均(均方根，RMS)是常用的。在計算PV值時，只考慮偏差最大的位置，而RMS值表征了整個表面的平均偏差。這兩種值都有其使用動機。除非另有說明，否則在本目錄中為PV偏差指定的值。雖然在PV和RMS偏差之間沒有一般的關系，但對于實際發生的大多數表面，可以假設RMS偏差比PV值低3-5倍。例如，λ/10 (PV)對應λ/30-λ/50 (RMS)。

本目錄中指定的表格偏差至少適用于90%的區域。元素外部尺寸的95%)。如果只使用光圈的一個較小的部分，相應的形狀偏差將大大降低。

微粗糙度

微粗糙度描述的是表面與橫向尺寸的偏差已達到或更低的波長(i.e. typ. <1μm)。這些偏差主要是造成散射光的原因。

微粗糙度通常由表面偏差的二次平均Rq來表示。車間使用的拋光技術可以得到 Rq <1nm (typ. Rq <0,5 nm).