Beam Imaging Solutions DCIS-100 直流離子源組件,BIS離子源
Beam Imaging Solutions (BIS)?推出新型 DCIS-100 離子源組件。該離子源為 Colutron 熱陰極放電類型,與?G-1 型和 G-2 型離子槍系統配合使用。該離子源類似于 Colutron 氮化硼離子源(100 型)設計,但由高度耐用的氧化鋁陶瓷 (Al2O3).與氮化硼源不同,DCIS-100 的初始放氣時間以分鐘為單位,而不是由于氮化硼的吸濕性而以小時為單位。氧化鋁的機械性能也比氮化硼更高。DCIS-100 也比 Colutron 100-Q 型石英離子源更耐用,并且能夠為更高電流的離子束提供更高的溫度和陽極放電電流。現在可以在放電室中產生軸向磁場的新型 Colutron 型散熱器可用。
離子源可作為完整組件(100 型)提供,帶有離子源(DCIS-101 型)、插座法蘭 (DCIS-102)、氣三通和固體電荷座。DCIS-101 離子源也可單獨提供,可插入標準 Colutron 插座法蘭。也可提供帶柱溫箱的離子源。該烘箱用于蒸發高達 2000C 的固體材料。
傳統的 Colutron 100-Q 型離子源和備件現在也可從 Beam Imaging Solutions 獲得。許多部件,如燈絲、陽極、接觸線和源插座法蘭,都可以在傳統的石英和陶瓷版本之間互換。氮化硼版本的零件也可用。
Model | DCIS-100, DCIS-101, DCIS-102, DCIS-103, DCIS-103-2 |
---|---|
Ion Source Flange | 2.75″ Conflat, Model DCIS-102, 5 Terminal with gas input(1/4″) |
Power Supply Requirements | Anode: 250v, 0.5A, Filament: 16V, 20A |
Oven Ion Sources (Temperatures up to 2000C) | Oven Power Supply Requirements: 6V, 12A |
Beam Imaging BeamImaging Beam Imaging HRBIS Beam Imaging Solutions Beam Imaging Solutions BOS-18 Beam Imaging Solutions BOS-18-IW Beam Imaging Solutions BOS-25 Beam Imaging Solutions BOS-40-IW Beam Imaging Solutions BOS-75-IW Beam Imaging Solutions DCIS-100 Beam Imaging Solutions DCIS-101 Beam Imaging Solutions DCIS-102 Beam Imaging Solutions DCIS-103 Beam Imaging Solutions RFIS-007 Beam Imaging Solutions RFIS-010 Beam Imaging Solutions RFIS-100 Beam Imaging Solutions RFIS-101 Beam Imaging Solutions RFMB-100 Beam Imaging Solutions 直流離子源 Beam Imaging Solutions離子源 Beam Imaging Solutions 離子源 Beam Imaging Solutions熒光屏 BIS-BOS BIS射頻離子源 BIS電子束觀察系統 BOS-18 BOS-18-IW光束輪廓分析儀 BOS-18光束觀測系統 BOS-25電子束觀察系統 BOS-40-IW BOS-75-IW BOS-75-IW電子束觀察系統 HRBIS高分辨率光束成像系統 Quadrupole QID-900-H 射頻離子源 電子束觀察系統 真空系統 真空腔 真空熒光屏 離子束偏轉器 離子束流減速器 離子源 熒光屏 速度濾波器