美國Beam Imaging Solution BIS 離子束偏轉器CIBD-100

產品概述

CIBD-100 型是一種靜電、雙聚焦 90° 離子束偏轉器,由不同高度的同心圓柱板*組成。與標準圓柱形偏轉器相比,CIBD-100 設計不僅允許將入射平行光束聚焦在偏轉平面上,而且可以聚焦在正交方向上。我們設計的光學特性類似于球形電容器偏轉器的光學特性,同時制造起來更容易且更具成本效益。與我們的 QID-900 型相比,偏轉離子束所需的電壓降低了約 75%。換句話說,使用像 QID-900 這樣的四極離子偏轉器將離子束偏轉 90 度通常需要的電壓等于單電荷離子束的離子束加速電位的正負值。使用 CIBD-100 型時,所需的電壓大約為加速電位的正負 1/4。也可以關閉偏轉器,離子束可以通過其中一個彎曲偏轉板上的孔直接穿過組件。

標準型號 CIBD-100 安裝在標準的 8 英寸扁平三通真空室(型號 CIBD-100-H)中。

導流板 100 H


導流板尺寸


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