產品概述
Beam Imaging Solutions 開發了一款新型緊湊型延遲場能量分析儀 （RFEA），現已上市。?新型 RFEA-1 采用準直入射孔徑設計，帶有 3 個網格。一個網格將用于掃描延遲 voltage，另外兩個網格用于 swe eping 網格之前和之后的電子抑制。RFEA-1 安裝在標準的?2.75 英寸平法蘭上，并具有與我們的 BOS-18 型光束觀測系統相似的外部尺寸。真空外殼長 2 英寸（5.1 厘米），有 4 個 MHV 收集器饋通件和三個網格。這種新儀器可用于測量射束能量高達 5keV?的入射離子束的平均能量和能量擴散。
RFEA-1 的爆炸圖如左圖所示。兩個帶有 3mm 直徑孔的入射孔相距 16.7mm。這些孔徑減少了離子以偏離電子束軸的角度進入分析儀時引入的能量擴散誤差。第一個和第三個網格用于抑制電子進入分析儀和來自集電極的二次電子發射。中間網格（第二個網格）用于施加掃描電壓以延遲入射光束。集電極連接到靜電計以測量離子束電流。通過測量離子束電流與掃描電壓的關系，可以推斷出離子束能量擴散和平均能量。
初步數據
下圖所示的數據是使用帶有 450 型減速器和 RF-100 離子源的 G-2-D 型離子槍拍攝的。很快將測量 DCIS-100 燈絲源的數據。
RFEA-1 還可用于測量離子源的平均離子能量等離子體電位。等離子體電位只是測得的平均離子束能量與加速電壓之間的差值。
