美國Beam Imaging Solution BIS 離子束偏轉(zhuǎn)器CIBD-100

產(chǎn)品概述

CIBD-100 型是一種靜電、雙聚焦 90° 離子束偏轉(zhuǎn)器,由不同高度的同心圓柱板*組成。與標(biāo)準(zhǔn)圓柱形偏轉(zhuǎn)器相比,CIBD-100 設(shè)計不僅允許將入射平行光束聚焦在偏轉(zhuǎn)平面上,而且可以聚焦在正交方向上。我們設(shè)計的光學(xué)特性類似于球形電容器偏轉(zhuǎn)器的光學(xué)特性,同時制造起來更容易且更具成本效益。與我們的 QID-900 型相比,偏轉(zhuǎn)離子束所需的電壓降低了約 75%。換句話說,使用像 QID-900 這樣的四極離子偏轉(zhuǎn)器將離子束偏轉(zhuǎn) 90 度通常需要的電壓等于單電荷離子束的離子束加速電位的正負(fù)值。使用 CIBD-100 型時,所需的電壓大約為加速電位的正負(fù) 1/4。也可以關(guān)閉偏轉(zhuǎn)器,離子束可以通過其中一個彎曲偏轉(zhuǎn)板上的孔直接穿過組件。

標(biāo)準(zhǔn)型號 CIBD-100 安裝在標(biāo)準(zhǔn)的 8 英寸扁平三通真空室(型號 CIBD-100-H)中。

導(dǎo)流板 100 H


導(dǎo)流板尺寸


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