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靶面等離子控制技術
Angstrom Sciences等離子體分析與過程控制、PLASUS-EMICON光譜等離子體監測系統
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Angstrom Sciences磁控管、低穿透磁通LPTF
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Angstrom Sciences磁控濺射、ONYX-Φlux等離子控制技術、靶面等離子控制技術
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