美國Angstrom Sciences ONYX-Φlux 控制器

ONYX-Φlux 控制器

Angstrom Sciences 以我們為磁控濺射應用帶來的尖端技術而享譽國際。我們現在開發了一種控制靶材表面等離子體的方法。為平面和圓形磁控管開發的 ONYX-Φlux Control(磁通量控制)允許用戶最大限度地提高均勻性或目標利用率。

控制均勻性

磁場在目標表面特定點的可編程停留時間。提供對電場和磁場交叉點的精確控制,以聚焦腐蝕剖面并調整均勻性。

控制材料利用率

以恒定速率將等離子體掃過目標表面。在厚度達 1.4 英寸(35 毫米)的平面目標上可實現高達 65% 的目標利用率,從而實現極長的運行時間。

磁通量控制 Eroded Target Angstrom Sciences

用戶友好的軟件

  • 直觀的用戶界面
  • 三種用戶模式 – 運行、編輯、手動
  • 觸摸屏技術
  • 等離子體的輸入位置和停留時間

磁通量控制 Angstrom Sciences

全面承諾

Angstrom Sciences 致力于通過提供世界上最先進的磁控管、高質量的沉積材料和全面的技術支持,幫助我們的客戶開發最具生產力和成本效益的薄膜應用。我們隨時準備確保您滿意。這就是為什么我們為所有磁控管提供 2 年保修,這是業內最長的保修。

 

Flux Control Eroded Circular Target Angstrom Sciences

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