高功率射頻磁控濺射陰極可以在研發(fā)和生產(chǎn)應(yīng)用中成功實施，前提是在結(jié)構(gòu)中納入了特定的設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)。

圓形高功率射頻磁控管直接冷卻，外徑為 2“-8”。

由于射頻功率在高頻下工作，因此磁控濺射陰極的設(shè)計必須能夠控制該功率。Angstrom Sciences 的高功率射頻磁控管 ae 旨在在整個目標(biāo)表面均勻地提供射頻能量，同時提供低反射功率和射頻限制。
高功率射頻磁控管有圓形和線性兩種配置。

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