美國(guó)Angstrom Sciences,ONYX? 磁控管,圓磁控管,UHV 濺射
Angstrom Sciences， Inc. 成立于 1988 年，為高質(zhì)量薄膜的等離子體氣相沉積提供先進(jìn)的磁控管和精制材料。該公司非常注重研發(fā)，很快就為磁性、水冷和圓形磁控管目標(biāo)夾緊設(shè)計(jì)方面的多項(xiàng)技術(shù)進(jìn)步申請(qǐng)了專(zhuān)利。Angstrom Advantage™ 的特點(diǎn)創(chuàng)造了薄膜行業(yè)中最先進(jìn)、最易于使用的磁控管。
UHV 濺射
Angstrom Sciences 提供全系列的 UHV 磁控管設(shè)計(jì)，包括我們的“ONYX-UHV”，它具有全金屬密封件、陶瓷絕緣體和可拆卸磁陣列。全焊接結(jié)構(gòu)允許在 450oC 下烘烤。“ONYX-UHV”圓形靶材直徑為 1 英寸（25 毫米）至 16 英寸（400 毫米），與標(biāo)準(zhǔn) ONYX 高真空陰極中的所有附件、磁鐵組和功能兼容。ONYX-UHV 線性陰極還提供定制目標(biāo)尺寸，以滿足任何應(yīng)用要求。還提供“ONYX-HT”（標(biāo)準(zhǔn) ONYX 陰極的高溫變體，帶有全陶瓷絕緣體，用于高溫運(yùn)行，提供“接近”-UHV 性能）。
- 描述
這些磁控管與 DC、RF、脈沖 DC 和 HiPIMS 電源兼容。還提供全系列選項(xiàng)，包括插入長(zhǎng)度、擋板、氣體入口和交叉污染防護(hù)罩。
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