Angstrom Sciences 以我們為磁控濺射應用帶來的尖端技術而享譽國際。現在，我們開發了一種使用我們獲得專利的異形磁體設計改造您現有圓柱形磁控管的方法 – 將 Angstrom Advantage™ 引入您的工藝中。

經濟的解決方案

圓柱形磁體改造提供了上述所有優勢，而成本大約是更換現有圓柱形組件的三分之一。

智能設計

• 磁體完全封裝在不銹鋼>
• 高效水流
• 與所有現有目標設計兼容
• 無縫集成
• 可調均勻性

優化的磁性元件

• 先進的周轉時間可產生更平坦的侵蝕剖面
• 改進的沉積剖面可減少腔室壁上的碎屑堆積
• 更高的場強度可在較低的功率水平下實現典型的沉積速率

經過驗證的結果

• 目標利用率達到 85% 或更高，且沒有增強周轉率
• 吞吐量或節能 20%
• 2 年保修

全面承諾

Angstrom Sciences 致力于通過提供世界上最先進的磁控管、高質量的沉積材料和全面的技術支持，幫助我們的客戶開發最具生產力和成本效益的薄膜應用。我們隨時準備確保您滿意。這就是為什么我們為所有磁控管提供 2 年保修，這是業內最長的保修。

有關圓柱形磁體改造的更多信息，請聯系我們。